一种气悬浮真空吸盘
授权
摘要
本实用新型提供一种气悬浮真空吸盘包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀，本实用新型有利于样品的转移，不需要额外的夹持设备，同时脉冲工作的气流转换阀能够减缓降低晶圆片靠近微孔陶瓷的速度和动能，保护晶圆片。
基本信息
专利标题 ：
一种气悬浮真空吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122858191.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216749847U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
李华贝国平樊舒凯
申请人 ：
苏州赋金科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
代理机构 ：
盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
章骞
优先权 ：
CN202122858191.3
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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