一种宽量程的MEMS热式质量流量计
授权
摘要
本实用新型公开了一种宽量程的MEMS热式质量流量计，包括设有流道的气路座，流道包括主流道和分流道，主流道上设置进气口和出气口，主流道上设有文丘里管结构，分流道上设置第一封装板，主流道上设置第二封装板，第一封装板上封装有第一MEMS流量芯片，第二封装板上封装有第二MEMS流量芯片，第一封装板和第二封装板分别与主电路板连接。本实用新型所公开的热式质量流量计通过在主流道和分流道上分别设置MEMS流量芯片，可在待测流量较小时，通过主流道的MEMS流量芯片进行流量采集；在待测流量较大时，利用分流道上的MEMS流量芯片进行流量采集，从而解决现有技术无法兼顾大小流量的问题，实现宽量程、高精度测量。
基本信息
专利标题 ：
一种宽量程的MEMS热式质量流量计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122859872.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216246575U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
胡国庆田伟卢笛
申请人 ：
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路169号国际创新园B座12楼B2-1房间
代理机构 ：
青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘娜
优先权 ：
CN202122859872.1
主分类号 ：
G01F1/86
IPC分类号 ：
G01F1/86
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/76
测量流体或流动固体材料质量流量的装置
G01F1/86
间接式质量流量计，例如，测量流量、密度、温度或压力
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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