一种外壁处理用驱转工装
授权
摘要
一种外壁处理用驱转工装,包括下调机构,下调机构设有一对夹持机构,夹持机构均设有驱转机构,下调机构用于调节夹持机构之间的间距,夹持机构用于调节驱转机构,以使驱转机构用于晶圆棒两端的夹持,并使驱转机构带动晶圆棒进行转动;下调机构包括一对折形板,折形板之间安装有一对调节轴承座,调节轴承座之间设有多根调节导杆,其中一个调节轴承座安装有调节电机,调节电机的输出轴连接有调节丝杆,调节丝杆两端的螺纹旋向相反,调节丝杆的两端均设有调节座,调节座上端均设有调节底板。本实用新型在进行晶圆棒加工时,方便进行晶圆棒两端的夹持,同时当对晶圆棒的外壁打磨时,能够带动晶圆棒进行稳定的转动,具有较强的实用性。
基本信息
专利标题 :
一种外壁处理用驱转工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122875635.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-23
授权号 :
CN216329256U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
周汉知李晶
申请人 :
四川绿然科技集团有限责任公司
申请人地址 :
四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
代理机构 :
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 :
曹宇杰
优先权 :
CN202122875635.4
主分类号 :
B28D5/00
IPC分类号 :
B28D5/00 B24B41/06 B24B47/12
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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