本实用新型公开了一种高浓臭氧发生器，涉及半导体处理技术领域，包括壳罩，壳罩的顶端安装有提手，且壳罩的内部连接有高压整流器，高压整流器的底部安装有底部水冷板，且底部水冷板的底端连接有托板，高压整流器的内侧安装有变压器，且变压器的另一侧连接有放电板。本实用新型中，通过在壳罩的内部进行集成式的水冷和风冷的结构，从而达到了降低放电板工作温度的效果，并且减小了臭氧发生器的体积，提高臭氧发生器的冷却效率，更高的冷却效率意味着放电板更低的工作温度，而臭氧发生器工作温度的降低直接提升了臭氧浓度指标和臭氧产量指标，实现了臭氧发生器的高浓度，并且散热风扇吹动的冷却风流经高压整流器表面和变压器表面。