一种双壳体密封氮气柜
授权
摘要

本实用新型公开了一种双壳体密封氮气柜,包括主壳体和密封门,还包括:不少于两个独立的内部腔体,不少于两个的内部腔体并列位于主壳体中,每个内部腔体的顶部设有进气口,每个内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口;进氮系统,进氮系统为内部腔体提供氮气,进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中;进氮系统与各个内部腔体的进气口连通;温湿度控制系统,每个内部腔体分别设有一个温湿度控制系统,温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度;控制器,每个内部腔体的上方分别安装有一个控制器,控制器与温湿度控制系统和进氮系统电性连接。

基本信息
专利标题 :
一种双壳体密封氮气柜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122938211.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-26
授权号 :
CN216660764U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
徐涛汪佳宋涛孙固王建军王晓明赵旸钟岩峰
申请人 :
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122938211.8
主分类号 :
B65D25/02
IPC分类号 :
B65D25/02  B65D81/20  B65D53/00  B65D6/10  B65D25/06  B65D81/18  B65D25/24  B65D25/00  B65D53/06  H01L21/673  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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