氮气设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种氮气设备，用于存放可开闭的晶圆承载盒，包括箱体、氮气输送管和开盒装置，氮气输送管的出口与箱体的内部连通，氮气输送管用于向箱体内输送氮气；开盒装置设置在箱体内并用于打开与关闭晶圆承载盒；从而减少氮气的置换时间，提高生产效率，并改善氮气的置换效果，提高产品良率。
基本信息
专利标题 ：
氮气设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120766642.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-14
授权号 ：
CN216510327U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
宋海
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN202120766642.8
主分类号 ：
B65D81/20
IPC分类号 ：
B65D81/20 B65D25/02 B65D25/04 B65D85/86 H01L21/673
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D81/00
用于存在特殊运输或贮存问题的装入物，或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件
B65D81/18
为装入物提供特殊环境，如高于或低于室温
B65D81/20
在真空或超大气压下，或在特殊气氛中，如惰性气体的
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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