本实用新型公开了一种半导体设备加工专用定位装置，包括工作台和四组凹形板，所述凹形板的内部开设有通孔，所述凹形板的表面设置有内螺纹环，所述内螺纹环的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的端部穿过所述通孔并延伸至所述凹形板的表面外侧，所述凹形板上设置有清洁组件，所述清洁组件包括清洁刷和安装块，所述清洁刷的外部设置有插块，所述插块的内部开设有凹槽；本实用新型通过设计的清洁组件，便于在使用过程中可以对螺杆上附着的一些废屑进行清理，降低螺杆在转动过程中由于废屑而产生的磨损程度，延伸长了螺杆的使用寿命，提高了夹具对半导体设备上零件或配件的定位固定效果，方便对其进行加工。