本实用新型提供了一种干式真空泵及半导体设备。干式真空泵包括：泵体；转子组件，用于对所述泵体抽真空；电机，用于控制所述转子组件运转或停止运转，并在控制所述转子组件停止运转的过程中，控制所述转子组件的转速分阶段地下降至零，以使所述泵体内的温度也分阶段地下降，并在所述转子组件的转速下降为零之前所述泵体内的温度到达设定温度，在该设定温度下例如可使附着在转子表面上的化学残留物冷凝硬化，从而使得冷凝硬化的残留物可随着转子组件在之后的转动中被剥离以被清除出泵体，从而在停机的过程中可以将转子组件上附着的化学残留物清除掉，确保干式真空泵在停机后仍可正常开启。