用于CMP清洗机流量测试的液体收集装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于CMP清洗机流量测试的液体收集装置，该液体收集装置能够在不接触滚刷的情况下收集液体，因此，滚刷不会被污染。液体收集装置包括：主体部，包括：长方体状的盒状体部，在内部形成有空间；和第一臂部和第二臂部，分别设置在盒状体部的相对的第一侧壁和第二侧壁上，并且被构造成能够支承于刷洗单元的侧壁上；和阀体，设置在盒状体部的第一侧壁上，在靠近盒状体部的底部的位置，其中，主体部的高度小于滚刷设置在刷洗单元中的深度。
基本信息
专利标题 ：
用于CMP清洗机流量测试的液体收集装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122966095.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216410632U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
姜波王喆
申请人 ：
英特尔NDTM美国有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN202122966095.0
主分类号 ：
G01M13/00
IPC分类号 ：
G01M13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M13/00
机械部件的测试
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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