一种螺旋式不锈钢水冷装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种螺旋式不锈钢水冷装置，包括固定台，固定台的顶面分别贯通的设置有进水管及出水管，进水管及出水管的顶面设置有螺旋设置的管道，管道的一端与进水管相连通，另一端与出水管相连通。本实用新型的有益效果是通过在蒸发源的外部设置有螺旋式的不锈钢管道，不锈钢管道的两端一端为进水口，另一端为出水口，通过不间断的进行冷却水循环降低不蒸发源外部的温度；可以确保冷却水充满整个管道，避免了水冷装置内部夹气导致的局部过热问题，解决了水冷套过热损坏的问题，该种水冷装置不需要区分进出水，可以有效的降低使用中的风险，避免相关事故导致的损失。
基本信息
专利标题 ：
一种螺旋式不锈钢水冷装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122997670.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
CN216427391U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
何军舫王军勇
申请人 ：
博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
天津市宝坻区中关村大道与西环北路交口中关村科技城展示中心220室
代理机构 ：
北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王文峰
优先权 ：
CN202122997670.3
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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