一种反射镜角度精密调节机构及准分子激光器
授权
摘要
本实用新型涉及准分子激光技术领域，尤其是涉及一种反射镜角度精密调节机构及准分子激光器。反射镜角度精密调节机构包括：本体、反射镜和差动调节组件；所述差动调节组件包括：第一螺纹传达副和第二螺纹传动副；两个螺纹传达副的传达螺距不同，本申请通过设置两幅不同螺距即不同传动速率的螺纹传动副，可以实现反射镜摆转角度的快慢、粗精调节，从而提高了使用时的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种反射镜角度精密调节机构及准分子激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123025543.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216351472U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
高泽杨宏伟熊朋赵婉云
申请人 ：
北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层
代理机构 ：
北京融智邦达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴强
优先权 ：
CN202123025543.3
主分类号 ：
G02B7/182
IPC分类号 ：
G02B7/182 G02B7/198
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/18
用于棱镜；用于反光镜
G02B7/182
用于反光镜
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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