具有电子发射体的准分子激光器
专利权的终止
摘要
本文描述用于准分子激光器的设备、系统和方法，所述准分子激光器具有激光气体和在施加发射电压时发射电子的电子发射体。
基本信息
专利标题 ：
具有电子发射体的准分子激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101133528A
申请号 ：
CN200680006520.7
公开（公告）日 ：
2008-02-27
申请日 ：
2006-01-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·斯金纳M·诺伊斯塔德特
申请人 ：
英特尔公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
曾祥夌
优先权 ：
CN200680006520.7
主分类号 ：
H01S3/038
IPC分类号 ：
H01S3/038
法律状态
2018-12-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01S 3/038
申请日 : 20060105
授权公告日 : 20110608
终止日期 : 20180105
申请日 : 20060105
授权公告日 : 20110608
终止日期 : 20180105
2011-06-08 ：
授权
2008-04-23 ：
实质审查的生效
2008-02-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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