准分子激光器性能综合测试装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供准分子激光器性能综合测试装置，包括腔体，所述腔体具有入光口，所述腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器，所述旋转组件上设置有分光组件，所述入光口对应所述分光组件的入射光路，所述第一光纤探头位于所述分光组件的透射光路上、第二光纤探头以及光电转换器均位于所述分光组件的反射光路上，所述第一光纤探头光纤连接波长计，所述第二光纤探头光纤连接光谱仪，所述光电转换器电连接示波器，本发明中，测试装置可对准分子激光器的综合性能，即准分子激光器的光束质量、光谱、脉宽、偏振及能量进行综合检测，具有实时、高效、自动、可靠的特点。
基本信息
专利标题 ：
准分子激光器性能综合测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114323570A
申请号 ：
CN202011051231.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈刚李祖友孔令浩张蒙蒙江锐詹绍通刘海东刘明雷李一鸣
申请人 ：
北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN202011051231.7
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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