准分子激光器的窗片更换装置
授权
摘要
本实用新型提供了准分子激光器的窗片更换装置，窗片更换装置包括结构相同的第一窗片更换装置和第二窗片更换装置，第一窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，第一固定装置和第二固定装置之间设置窗片，第一固定装置内还设置光路通道，隔离装置可移动的设置在第一固定装置内，使隔离装置、窗片及第一固定装置之间形成第一密封腔，窗片更换装置还包括连接两端更换装置的管路系统。本实用新型的窗片更换装置仅需要对布儒斯特窗周围的很小体积进行清洗，清洗气体消耗极少，而且更换窗片后不需要对放电腔进行钝化，减少了时间和成本。
基本信息
专利标题 ：
准分子激光器的窗片更换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921062144.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210296850U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
沙鹏飞杨军红熊光亮祝桂鹏陈刚李祖友韩晓泉宋兴亮冯泽斌刘斌丁金滨赵江山胡馨月辛茗
申请人 ：
北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN201921062144.4
主分类号 ：
H01S3/034
IPC分类号 ：
H01S3/034
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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