光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框
授权
摘要

本实用新型属于准分子激光技术领域,具体涉及一种光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框。本实用新型所述的光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框,包括充气孔和出气孔,充气孔一端连接充气装置,充气孔另一端连接中空型腔,出气孔一端连接中空型腔,出气孔另一端连接出气装置,中空型腔设于腔室外壁内部;腔室外壁连接准分子激光器设备。本实用新型结构合理,能满足高电压、强腐蚀性的环境中产生的高重复性及持续时间短的光束脉冲流。

基本信息
专利标题 :
光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122821329.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-17
授权号 :
CN216672159U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
孟姗姗王安英徐东昌王国阳李世慧赵帅陈传蒙
申请人 :
山东硅元新型材料股份有限公司
申请人地址 :
山东省淄博市高新技术产业开发区柳泉路286号
代理机构 :
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 :
赵真真
优先权 :
CN202122821329.2
主分类号 :
H01S3/03
IPC分类号 :
H01S3/03  G03F7/20  
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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