光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框
授权
摘要
本实用新型属于准分子激光技术领域，具体涉及一种光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框。本实用新型所述的光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框，包括充气孔和出气孔，充气孔一端连接充气装置，充气孔另一端连接中空型腔，出气孔一端连接中空型腔，出气孔另一端连接出气装置，中空型腔设于腔室外壁内部；腔室外壁连接准分子激光器设备。本实用新型结构合理，能满足高电压、强腐蚀性的环境中产生的高重复性及持续时间短的光束脉冲流。
基本信息
专利标题 ：
光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122821329.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216672159U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
孟姗姗王安英徐东昌王国阳李世慧赵帅陈传蒙
申请人 ：
山东硅元新型材料股份有限公司
申请人地址 ：
山东省淄博市高新技术产业开发区柳泉路286号
代理机构 ：
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 ：
赵真真
优先权 ：
CN202122821329.2
主分类号 ：
H01S3/03
IPC分类号 ：
H01S3/03 G03F7/20
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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