一种准分子激光器光学系统
授权
摘要
本申请提供一种准分子激光器光学系统，包括：种子腔、能量放大腔以及第一高反射镜、第二高反射镜、第三高反射镜、第四高反射镜和第五高反射镜；第一高反射镜和第二高反射镜的表面设有垂直偏振态高反射膜层；第三高反射镜、第四高反射镜和第五高反射镜的表面设有水平偏振态高反射膜层。本申请中，偏振膜层能提高特定偏振方向的激光传输效率，在激光的传输过程中，通过设有偏振膜层的高反射镜对种子腔输出的激光(种子激光)和能量放大腔输出的激光(放大激光)进行多次提纯(提高特定偏振方向的激光传输效率)，补偿长距离光路传输过程中的退偏影响，实现最终具有高偏振度的大能量目标偏振态(水平偏振态)激光的输出。
基本信息
专利标题 ：
一种准分子激光器光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021331706.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-08
授权号 ：
CN213278686U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
李慧赵江山范元媛谢婉露罗艳崔惠绒张立佳
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘广达
优先权 ：
CN202021331706.3
主分类号 ：
H01S3/08
IPC分类号 ：
H01S3/08 H01S3/081 G03F7/20
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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