一种可提高使用寿命的真空阀门
授权
摘要

本实用新型涉及真空阀门技术领域,且公开了一种可提高使用寿命的真空阀门,包括阀体、第一驱动装置、阀杆、阀盖和第一密封圈,所述阀体通过安装板连接有第一驱动装置。该可提高使用寿命的真空阀门,通过阀体、安装板、第一驱动装置、阀杆、阀盖、第一密封圈、法兰接口、防护套、第一定位管、第一转轴、第二定位管、第二转轴、第二驱动装置、第一连杆、第一真空盖板、第二连杆和第二真空盖板之间的相互配合,达到了防止膜层材料沉积在真空阀内部运动部件或密封面上的效果,解决了与真空镀膜设备内配套使用的真空阀在使用一段时间后,靠近真空镀膜室阀门内的运动部件或密封面上易沉积膜层材料,从而造成真空阀密封性能下降,运行异常的问题。

基本信息
专利标题 :
一种可提高使用寿命的真空阀门
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123042734.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-06
授权号 :
CN216555398U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
刘万满张哲星
申请人 :
夏禹纳米科技(深圳)有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道和平社区骏丰中城智造创新园B5-1栋三楼
代理机构 :
广东中禾共赢知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
苗昂
优先权 :
CN202123042734.0
主分类号 :
F16K1/20
IPC分类号 :
F16K1/20  F16K1/36  F16K1/46  F16K31/122  F16K51/02  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K1/00
提升阀,即带有闭合元件的切断装置,闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
F16K1/16
带有装在枢轴上的闭合元件
F16K1/18
带有装在枢轴上的盘或瓣
F16K1/20
旋转轴线配置在阀元件之外
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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