一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源
授权
摘要
本实用新型公开了一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源，包括电源主体和调整机构，用于散热安装的所述电源主体侧端面安装有用于适应插接的调整机构，所述调整机构包括轨道、侧卡座、凸台、轴套、双头丝杆和结节。解决为适应其他设备的加载需求，现有的中频磁控溅射电源被设计为相互可拆卸连接的产品，但是由于其二者为不同的厂家研发制造使得其各自有不同的接口，存在安装时接口不匹配的问题，在安装上较为不灵活的技术问题，提供一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源，通过简便的操作即可实现本实用提出的中频磁控溅射电源的稳固对接，并可根据不同插入设备的尺寸自适应调节自身对接方式，适用性更强。
基本信息
专利标题 ：
一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123150796.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
CN216451658U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
吕忠毅梁寅平康凯吕世凡崔世博
申请人 ：
大连派立特电子科技发展有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市沙河口区昌平街61号776室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123150796.3
主分类号 ：
H05K5/02
IPC分类号 ：
H05K5/02 H05K7/20
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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