一种用于更换磨轮的装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于更换磨轮的装置,所述装置包括保护壳、金属套筒、金属杆、锁紧旋钮、滑块、轨道和支撑架等。所述保护壳外形呈筒状并具有喷淋气体或液体的喷淋孔,其尺寸与磨轮严格匹配,可在磨轮安装与拆卸地过程中充分保护磨轮。本实用新型提供的装置能够充分、准确、高效地实现对磨轮的保护,降低人工操作难度,保证晶圆的品质。

基本信息
专利标题 :
一种用于更换磨轮的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123153508.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-14
授权号 :
CN216327529U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
张舸
申请人 :
西安奕斯伟材料科技有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 :
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
姚勇政
优先权 :
CN202123153508.X
主分类号 :
B24B37/08
IPC分类号 :
B24B37/08  B24B37/34  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/08
用于双侧研磨
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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