本实用新型提供了一种硅油生产中真空泵排气尾气中小分子硅氧烷的回收装置，包括处理罐及与所述处理罐连通的水冷箱，所述处理罐内部设置有分离板，所述分离板将所述处理罐分离成处理腔和回收腔，所述处理腔内从上至下分别设置有热源供应装置和吸附装置，所述处理腔底部设置有气体回收管道，所述气体回收管道安装于所述水冷箱内，所述气体回收管道的另一端连通至所述回收腔内；所述处理腔顶部设置有进气口，所述回收腔顶部设置有出气口；其不仅可以有效净化吸收真空系统尾气中有害物组分，还可回收利用尾气中有用组分，如未反应的硅氧烷等轻组分，在解决尾气污染环境的同时进一步回收利用轻组分中有用物质。