一种多层减反膜结构
授权
摘要
本实用新型提供一种多层减反膜结构，包括自下而上依次设置的底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜；所述底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜均为氮化硅膜，且各层的折射率递减。本实用新型提供了一种具有折射率递减的多层减反膜结构，通过匹配各膜层间的氮硅比例来降低表面反射率，提高了光的利用率，从而提升光电转化效率。
基本信息
专利标题 ：
一种多层减反膜结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123164249.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216288485U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
李宏秦积海张伟王菲李云鹤任彭霞
申请人 ：
晋能光伏技术有限责任公司
申请人地址 ：
山西省晋中市山西综改示范区晋中开发区新能源汽车园区广安东街533号
代理机构 ：
山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张学元
优先权 ：
CN202123164249.0
主分类号 ：
H01L31/054
IPC分类号 ：
H01L31/054 H01L31/0216
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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