红外探测器杜瓦组件检漏装置
授权
摘要
本实用新型提供的红外探测器杜瓦组件检漏装置,包括检漏工装、检漏仪、机械泵以及检漏气体供应单元;检漏工装包括槽体、盖体以及至少两路检漏管路,每路检漏管路的一端设于槽体内用于与杜瓦组件连接,每路检漏管路的另一端设于槽体外并连接到检漏仪;槽体与盖体形成一腔体,机械泵与腔体连接用于抽取腔体内的气体,检漏气体供应单元与腔体连接用于向腔体内充入检漏气体以提供正压气体氛围。在本实用新型中,通过在检漏工装内设置至少两路检漏管路,以实现至少两个杜瓦组件的同时检漏,以降低检漏的成本,并且,利用机械泵及检漏气体供应单元在腔体内形成一正压的检漏气体氛围,提高杜瓦组件的内外的压差,从而提高杜瓦检漏装置的检漏精度。
基本信息
专利标题 :
红外探测器杜瓦组件检漏装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123170219.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-15
授权号 :
CN216524632U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
李锐平熊雄毛剑宏
申请人 :
浙江珏芯微电子有限公司
申请人地址 :
浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座307室
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
钟玉敏
优先权 :
CN202123170219.0
主分类号 :
G01M3/26
IPC分类号 :
G01M3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率,例如,用压力响应装置,用流量计
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载