显微角分辨光谱测量系统
授权
摘要

本实用新型提供一种显微角分辨光谱测量系统,包括显微物镜与收集模块。待测样品位于显微物镜的焦点处,收集模块依次包括第一凸透镜、空间滤波孔、第二凸透镜,空间滤波孔位于第一凸透镜与第二凸透镜的共同焦点处,显微物镜有效焦距f1、第一凸透镜焦距f2、激光经显微物镜汇聚后直径d1、空间滤波孔直径d2满足f1/f2=d1/d2。本实用新型分辨率接近光学显微镜分辨率的极限,大大提高了信噪比。成像系统不会使光路发生偏折,因此可以得到样品准确位置的角分辨光谱。系统组件中由于没有使用光纤组件,可以避免光纤耦合造成的信号损失。采用正交配置的能量分束片避免了光路中由于光学元件的折射效应可能产生的测量误差。

基本信息
专利标题 :
显微角分辨光谱测量系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123172592.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-16
授权号 :
CN216594776U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
张俊宋飞龙
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
王文思
优先权 :
CN202123172592.X
主分类号 :
G01N21/64
IPC分类号 :
G01N21/64  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发,因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/63
光学激发的
G01N21/64
荧光;磷光
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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