一种MPCVD微波谐振装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种MPCVD微波谐振装置，包括微波源，所述微波源的右端连接有矩形波导，所述矩形波导顶部的左端设置有环形器和水负载，所述矩形波导顶部的中端设置有三螺钉阻抗调配器，所述矩形波导顶部的右端设置有安装块，所述矩形波导顶部的右端设置有转换天线，所述矩形波导的右端设置有短路活塞，所述矩形波导底部的右端连接有反应器体，所述反应器体内设置有沉积台，所述反应器体内设置有升降件；所述反应器体内开设有气体输入口和气体输出口，所述反应器体的前侧设置有取样门，所述反应器体的右侧设置有真空泵；本实用新型结构简单，实用性高，方便更换转换天线，同时方便调节到适宜金刚石生长的高度。
基本信息
专利标题 ：
一种MPCVD微波谐振装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123194667.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216413004U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
纪生晓周良杰杨霄王临喜陈涛张能健陈秀华杨张泉
申请人 ：
福建鑫德晶新材料科技有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市长乐市文武砂镇壶江路2号中国东南大数据产业园研发楼二期2号楼
代理机构 ：
福州旭辰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
卢丽花
优先权 ：
CN202123194667.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C30B25/08 C30B25/12 C30B29/04 C23C16/511 C23C16/458
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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