一种基于微波谐振的薄膜检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于微波谐振的薄膜检测装置，属于薄膜生产领域。包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙，本实用新型实现了薄膜物理参数动态测量，圆谐振腔上下两部分间隙和同轴度的微米级调节，并采用微波谐振方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高，测量范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种基于微波谐振的薄膜检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020353552.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN212254033U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
谢明徐程松刘伟雄张杨肖伟
申请人 ：
绵阳人众仁科技有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区绵安路35号（中国（绵阳）科技城软件产业园）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020353552.1
主分类号 ：
G01B15/02
IPC分类号 ：
G01B15/02 G01N22/00 G01N22/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B15/00
以采用波或粒子辐射为特征的计量设备
G01B15/02
用于计量厚度
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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