压电薄膜谐振器
授权
摘要
本发明提供一种可以抑制短波长乱真的压电薄膜谐振器。薄膜部的一部分由基板12支持，薄膜部的从基板12音响性分离的部分中含有：a)夹持压电膜16的一对电极14、18在俯视图中重叠的振动部24；b)沿着振动部24的外周的至少一部分设置在压电膜16或电极18上的附加膜20。设x(MN·秒/m3)为由密度和杨氏模量的积的平方根定义的附加膜20的音响阻抗，附加膜20的密度和厚度的积为A，电极14、18的密度和厚度的积为B，y＝A/B，满足：(i)9.0≤x＜44.0时，0.0092·x+0.88≤y＜0.067·x+0.60…(1a)(ii)44.0≤x＜79.0时，－0.0035·x+1.45≤y＜0.015·x+2.9…(1b)。
基本信息
专利标题 ：
压电薄膜谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101292422A
申请号 ：
CN200680035920.0
公开（公告）日 ：
2008-10-22
申请日 ：
2006-02-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
梅田圭一河村秀树
申请人 ：
株式会社村田制作所
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200680035920.0
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/54 H01L41/09 H01L41/187 H01L41/18
相关图片
法律状态
2013-01-16 ：
授权
2008-12-17 ：
实质审查的生效
2008-10-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101292422B.PDF
PDF下载
2、
CN101292422A.PDF
PDF下载
