压电谐振器及其制造方法
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摘要
[目的]为了减小由频率常数中的变化导致的频率偏差，并在压电基板的频率常数具有梯度时抑制非必要振动。[解决手段]压电谐振器包括具有形成于基板(1a)的两个主表面上的振动电极(4，5)，以便使它们彼此相对并且在两个振动电极之间生成陷获振动。压电基板(1a)具有固定厚度，其频率常数在平面方向上具有梯度，并且振动电极(4，5)被形成为在薄膜厚度中具有梯度，从而薄膜厚度向着其中压电基板的频率常数增加的方向递增。通过在振动电极的薄膜厚度中提供梯度，有可能抑制带内非必要振动并减小频率偏差。
基本信息
专利标题 ：
压电谐振器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101111995A
申请号 ：
CN200680003381.2
公开（公告）日 ：
2008-01-23
申请日 ：
2006-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吉尾雅一山崎晃一
申请人 ：
株式会社村田制作所
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
张鑫
优先权 ：
CN200680003381.2
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H01L41/09
法律状态
2010-08-25 ：
授权
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2008-01-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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