薄膜表声波谐振器及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种薄膜表声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜表声波谐振器包括：具有多个第一叉指的第一叉指电极、具有多个第二叉指的第二叉指电极，第一叉指与第二叉指间隔设置；第一连接线，至少位于第一叉指的其中一端，与第一叉指电连接；第二连接线，至少位于第二叉指的其中一端，与第二叉指电连接；第一连接线与第一叉指之间具有第一间隙，第一连接线与第一叉指通过跨越第一间隙的第一互连电极连接；和/或，第二连接线与第二叉指之间具有第二间隙，第二连接线与第二叉指通过跨越第二间隙的第二互连电极连接。本发明将叉指与相应连接线通过相应间隙隔开，以降低叉指之外的金属结构对叉指的振动阻碍，同时避免对叉指端部的表面声波造成扰动。
基本信息
专利标题 ：
薄膜表声波谐振器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114513180A
申请号 ：
CN202011280224.4
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2020-11-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄河罗海龙李伟
申请人 ：
中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309
代理机构 ：
北京思创大成知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘亭
优先权 ：
CN202011280224.4
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 H03H9/02
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20201116
申请日 : 20201116
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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