声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法
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摘要
本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：膜层，设置在绝缘层上；腔，通过所述绝缘层和所述膜层形成，并具有设置在所述腔的上表面的部分和所述腔的下表面的部分中的至少一者上的疏水层；以及谐振部，设置在所述腔上，并具有第一电极、位于所述第一电极上的压电层以及位于所述压电层上的第二电极。
基本信息
专利标题 ：
声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108988812A
申请号 ：
CN201810250773.3
公开（公告）日 ：
2018-12-11
申请日 ：
2018-03-26
授权号 ：
CN108988812B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
李泰京孙晋淑庆济弘申兰姬金成善
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
王春芝
优先权 ：
CN201810250773.3
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 H03H9/02 H03H9/05 H03H9/17
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法律状态
2022-06-07 ：
授权
2019-01-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20180326
申请日 : 20180326
2018-12-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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