体声波谐振器
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114362708A
申请号 ：
CN202110848246.4
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-07-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
韩源孙尚郁金泰润林昶贤韩相宪金钟范
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈浩
优先权 ：
CN202110848246.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20210727
申请日 : 20210727
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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