体声波谐振器
授权
摘要
本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电层上，其中，所述下电极和所述上电极中的任意一者或者两者具有包括钪(Sc)的铝合金的层。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109412550A
申请号 ：
CN201810937920.4
公开（公告）日 ：
2019-03-01
申请日 ：
2018-08-17
授权号 ：
CN109412550B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
李泰京申兰姬庆济弘李华善孙晋淑金成善
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
祝玉媛
优先权 ：
CN201810937920.4
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/02
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法律状态
2022-06-03 ：
授权
2019-03-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20180817
申请日 : 20180817
2019-03-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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