体声波谐振器
授权
摘要
本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108336982A
申请号 ：
CN201810039429.X
公开（公告）日 ：
2018-07-27
申请日 ：
2018-01-16
授权号 ：
CN108336982B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
韩源金大虎金龙石韩昇勋李文喆林昶贤李成俊尹湘基金泰润孙尚郁
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪喆
优先权 ：
CN201810039429.X
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/05
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法律状态
2022-06-03 ：
授权
2018-08-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20180116
申请日 : 20180116
2018-07-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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