体声波谐振器
授权
摘要
提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极，形成在所述基板上，并且所述下电极的至少一部分形成在腔上；压电层，形成在所述下电极上；上电极，形成在所述压电层上；膜层，形成在所述下电极下方，并且与所述基板一起形成所述腔；以及突出部，形成在所述膜层上，并且在远离所述膜层延伸的方向上形成在所述腔中。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109412549A
申请号 ：
CN201810859849.2
公开（公告）日 ：
2019-03-01
申请日 ：
2018-08-01
授权号 ：
CN109412549B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
金泰润韩源林昶贤
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
钱海洋
优先权 ：
CN201810859849.2
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2019-03-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20180801
申请日 : 20180801
2019-03-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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