体声波谐振器
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及保护层，设置在所述谐振部的上表面上。所述保护层包括：第一保护层，利用金刚石薄膜形成；以及第二保护层，堆叠在所述第一保护层上，并且利用介电材料形成。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114465597A
申请号 ：
CN202110811548.4
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-07-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李泰京韩相宪朴成埈尹湘基李尙泫严在君
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵晓旋
优先权 ：
CN202110811548.4
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/02 H03H3/02
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20210719
申请日 : 20210719
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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