声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法
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摘要
本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：膜层，设置在绝缘层上；腔，通过所述绝缘层和所述膜层形成；谐振部，设置在所述腔上，并具有堆叠在所述腔上的第一电极、压电层和第二电极；保护层，设置在所述谐振部上；以及疏水层，形成在所述保护层上。
基本信息
专利标题 ：
声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108988818A
申请号 ：
CN201810251593.7
公开（公告）日 ：
2018-12-11
申请日 ：
2018-03-26
授权号 ：
CN108988818B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
李泰京林俊金钟云申兰姬金成善
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
王春芝
优先权 ：
CN201810251593.7
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H3/02
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2019-01-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20180326
申请日 : 20180326
2018-12-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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