一种声波谐振器的制造方法
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摘要

本发明提供了一种声波谐振器的制造方法,该制造方法包括:提供基底;在所述基底的表面形成声反射层或者在所述基底上形成声反射层,其中,该声反射层的材料是多孔性材料;在所述声反射层上形成下电极层;在所述下电极层上形成压电层;在所述压电层上形成上电极层。本发明通过形成由多孔性材料所构成的声反射层,在保证声波谐振器具有良好性能的同时有效地改善了声波谐振器的制造工艺、简化了声波谐振器的结构、降低了声波谐振器的制造成本以及大大地提高了声波谐振器的成品率。

基本信息
专利标题 :
一种声波谐振器的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN104917476A
申请号 :
CN201510282093.6
公开(公告)日 :
2015-09-16
申请日 :
2015-05-28
授权号 :
CN104917476B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
杨清华欧毅刘杰赖亚明吴光胜陈庆朱丽娜
申请人 :
贵州中科汉天下电子有限公司
申请人地址 :
贵州省黔东南苗族侗族自治州凯里市经济开发区甘塘路2号中盛茗园B栋3单元4层402号
代理机构 :
北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
冯谱
优先权 :
CN201510282093.6
主分类号 :
H03H3/02
IPC分类号 :
H03H3/02  H03H9/17  
法律状态
2022-04-12 :
授权
2020-06-19 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H03H 3/02
登记生效日 : 20200601
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 贵州中科汉天下电子有限公司
变更后权利人 : 苏州汉天下电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 556000 贵州省黔东南苗族侗族自治州凯里市经济开发区甘塘路2号中盛茗园B栋3单元4层402号
变更后权利人 : 215002 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区15幢301和302室
2018-05-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20150528
2015-09-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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