体声波谐振器及其制造方法、以及电子器件
公开
摘要
本发明提供了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括衬底；下电极、压电层以及上电极，该下电极、压电层以及上电极从下至上依次形成在所述衬底上；声反射结构，该声反射结构形成在所述衬底内、或形成在所述衬底和所述下电极之间，该声反射结构与所述下电极、所述压电层以及所述上电极的水平投影重叠区域构成所述体声波谐振器的谐振区；散热结构，该散热结构包括形成在所述谐振区之外的第一散热部和/或第二散热部，该第一散热部形成在所述压电层的下表面，该第二散热部形成在所述压电层的上表面。相应地，本发明还提供了一种体声波谐振器的制造方法以及基于该体声波谐振器所形成的电子器件。实施本发明有利于提升器件的散热能力。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器及其制造方法、以及电子器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114301414A
申请号 ：
CN202111657016.6
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王矿伟杨清华
申请人 ：
苏州汉天下电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39幢
代理机构 ：
北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李非非
优先权 ：
CN202111657016.6
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/13 H03H9/17 H03H3/02
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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