高频声波谐振器及其制备方法
授权
摘要
本发明提供一种高频声波谐振器及其制备方法，高频声波谐振器至少包括：支撑衬底；位于所述支撑衬底上表面的图案化介质层；位于所述图案化介质层表面的压电膜；位于所述压电膜表面的图案化上电极。本发明的高频声波谐振器及其制备方法，通过在压电膜下方形成图案化介质层，可极大减少压电膜中传播的高频声波能量向衬底泄露，从而形成高频谐振，并使高频声波谐振器保持较高的Q值，并且由于图案与介质材料的可调整性，使得高频声波谐振器综合性能可以根据实际情况进行参数选择。
基本信息
专利标题 ：
高频声波谐振器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110601674A
申请号 ：
CN201910925098.4
公开（公告）日 ：
2019-12-20
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN110601674B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
欧欣王成立张师斌周鸿燕黄凯
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
余明伟
优先权 ：
CN201910925098.4
主分类号 ：
H03H3/10
IPC分类号 ：
H03H3/10
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/10
申请日 : 20190927
申请日 : 20190927
2019-12-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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