一种宽带薄膜体声波谐振器的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种宽带薄膜体声波谐振器的制备方法,包括以下步骤:取一衬底,涂胶曝光清洗后在其上表面刻蚀凹槽;采用牺牲层填平凹槽;进一步在凹槽上方沉积底电极;在底电极上方沉积复合压电薄膜;在复合压电薄膜上方沉积顶电极;通过释放孔湿法腐蚀去除牺牲层。该谐振器按照从上向下的顺序依次包括顶电极、复合压电薄膜、底电极和衬底;所述顶电极、所述复合压电薄膜和所述底电极构成三明治结构;所述底电极和所述衬底之间形成有空气隙;所述复合压电薄膜为若干层压电层叠加组成。本发明通过复合压电薄膜的结构和特殊空气隙的结合设计,制备出一种具有低损耗的宽带薄膜体声波谐振器。
基本信息
专利标题 :
一种宽带薄膜体声波谐振器的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114531126A
申请号 :
CN202111664278.5
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李国强
申请人 :
河源市艾佛光通科技有限公司
申请人地址 :
广东省河源市高新技术开发区高新五路、泥金路西边办公区二楼
代理机构 :
广州容大知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新年
优先权 :
CN202111664278.5
主分类号 :
H03H3/02
IPC分类号 :
H03H3/02
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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