一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底，其中，衬底的表面或者内部设置有声反射结构；在衬底之上依次形成下电极和压电层；在压电层背离下电极的表面形成掩膜层，其中，掩膜层设置有微结构窗口，微结构窗口包括凸起结构窗口；形成凸起结构膜层，其中，凸起结构膜层位于掩膜层的表面以及压电层上凸起结构窗口内，位于压电层上凸起结构窗口内的凸起结构膜层为凸起结构；去除掩膜层以及掩膜层表面的凸起结构膜层；形成上电极，上电极覆盖凸起结构和压电层。本发明实施例提供的技术方案，简化了体声波谐振器的制备工艺，降低了制作成本。
基本信息
专利标题 ：
一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114584099A
申请号 ：
CN202210225168.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王友良杨清华
申请人 ：
苏州汉天下电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39幢
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
杨义
优先权 ：
CN202210225168.7
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/56 H03H9/58 H03H3/02
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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