一种声波谐振器及滤波器
公开
摘要
本申请提供的一种声波谐振器及滤波器，用于提高谐振器及滤波器的品质因数Q值，其中一种声波谐振器，包括：衬底；声反射结构，设置在所述衬底的上表面；压电层，设置在所述声反射结构的上表面；电极结构，设置在所述压电层的上表面；其中，在所述压电层的谐振区域以外设置有沟道，所述沟道的深度小于所述压电层的厚度，所述沟道的宽度大于零且小于或等于从所述谐振区域的边界至所述压电层的边界的垂直距离，所述谐振区为所述压电层上与所述电极结构对应的区域。
基本信息
专利标题 ：
一种声波谐振器及滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114614792A
申请号 ：
CN202210231010.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴传贵谭举帅垚罗文博
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
代理机构 ：
电子科技大学专利中心
代理人 ：
闫树平
优先权 ：
CN202210231010.0
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/25 H03H9/02 H03H9/13 H03H9/145 H03H9/54 H03H9/64
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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