薄膜体声波谐振器及滤波器
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种薄膜体声波谐振器及滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：支撑结构，所述支撑结构内部设置空气隙；形成在所述支撑结构上的自下而上排列的下电极、压电层和上电极。本实用新型实施例提供的技术方案，增加了薄膜体声波谐振器的机械牢固度，有效避免常规工艺牺牲层被灌入通孔的腐蚀液腐蚀不完全和腐蚀液清洗不干净的问题。
基本信息
专利标题 ：
薄膜体声波谐振器及滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921433456.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN211959173U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
缪建民张瑞珍
申请人 ：
迈感微电子（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区万祥镇宏祥北路83弄1-42号20幢118室
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201921433456.1
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/05 H03H3/02 H03H9/58
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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