一种薄膜体声波谐振器和滤波器
授权
摘要
本实用新型公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及谐振器领域，包括衬底，所述衬底上表面刻蚀或腐蚀形成台阶，所述衬底表面覆盖有支撑层；所述衬底上非台阶处还刻蚀或腐蚀有凹槽；所述支撑层上设置有压电三明治结构，所述压电三明治结构从下到上依次包括底电极、压电层和顶电极，所述压电层延伸至凹槽内。本实用新型利用衬底本身作为牺牲层材料，更好的利用了衬底表面粗糙度小的优点；同时，无需利用其它材料作为牺牲层，避免使用研磨、抛光等工艺，简化了制作工艺；通过在衬底上设置的凹槽，减小相邻谐振器的高度差，更好地实现电极的连接。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜体声波谐振器和滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123230540.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216565093U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
盖广洪白鹤
申请人 ：
苏州航凯微电子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区江陵街道联杨路南侧、龙桥路西侧（联杨路139号）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123230540.3
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/56 H03H9/58
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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