薄膜体声波谐振器
授权
摘要
本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：衬底、阻挡层、基底层、诱导层、第一电极层、压电层、第二电极层、空气隙；所述阻挡层形成于衬底的一个表面，衬底的该表面设有下凹腔；基底层设置在衬底的所述一个表面，基底层下的衬底下凹腔形成空气隙；诱导层生长在基底层上；在诱导层上自下往上依次生长有第二电极层、压电层和第一电极层。第一电极层和第二电极层的材料选取为Mo。压电层的材料选取为AlN，厚度选取为谐振频率对应声波波长的二分之一。本实用新型能够提高结构的机械强度和功率容量，满足更高频率的应用。
基本信息
专利标题 ：
薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020411652.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211744436U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
欧文
申请人 ：
江苏物联网研究发展中心
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座
代理机构 ：
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
殷红梅
优先权 ：
CN202020411652.5
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/08 H03H9/17
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法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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