带有运动板的薄膜体声波谐振器
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明公开了用于测量目标环境变量(TEV)的装置和方法，其采用带有运动板的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器(FBAR)包括形成在FBAR晶片中的具有一个表面的声学反射器。第一电极形成在声学反射器的表面上并具有一个表面。压电层形成在第一电极的表面上并具有一个表面。第二电极形成在压电层的表面上。运动板被悬挂在相对于第二电极的表面预定距离的空中，并电容耦合到FBAR。
基本信息
专利标题 ：
带有运动板的薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1828245A
申请号 ：
CN200510130142.0
公开（公告）日 ：
2006-09-06
申请日 ：
2005-12-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
斯托尔斯·T·霍恩马克·A·尤恩克里克威廉·R·托特纳约翰·D·拉森三世理查德·C·卢比格雷厄姆·M·夫劳尔安纳特斯·格洛特
申请人 ：
安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王怡
优先权 ：
CN200510130142.0
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14 H03H9/02 H01L41/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2018-10-30 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01L 1/14
登记生效日 : 20181010
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更后权利人 : 安华高科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20181010
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更后权利人 : 安华高科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
2013-06-05 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101602003509
IPC(主分类) : G01L 1/14
专利号 : ZL2005101301420
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20130507
号牌文件序号 : 101602003509
IPC(主分类) : G01L 1/14
专利号 : ZL2005101301420
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20130507
2009-10-28 ：
授权
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2007-01-03 ：
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技无线IP（新加坡)私人有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20061124
变更前权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技无线IP（新加坡)私人有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20061124
2006-09-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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