声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
基本信息
专利标题 ：
声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520640A
申请号 ：
CN202111635908.6
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2017-12-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李泰京金泰润尹湘基林昶贤金钟云李文喆
申请人 ：
三星电机株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
曹志博
优先权 ：
CN202111635908.6
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/54 H03H9/58 H01L41/09 H01L41/29 H03H9/02
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20171212
申请日 : 20171212
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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