谐振器及其制备方法、滤波器
实质审查的生效
摘要
一种谐振器及其制备方法、滤波器，涉及谐振器技术领域。该制备方法包括：在第一衬底上形成压电层、第一电极层和第一键合层；对第一键合层进行图案化以形成第一键合环、第二键合环和第三键合环；并刻蚀露出的第一电极层以形成第一窗口；在第二衬底上形成第一支撑层和第二键合层；对第二键合层进行图案化以形成第四键合环和第五键合环；并刻蚀露出的第一支撑层以形成第二窗口和第三窗口，得到位于第三窗口和第二窗口之间的边界环；将第三键合环和第五键合环键合、第二键合环和第四键合环键合得到谐振器的空腔结构；去除第一衬底，并在压电层上形成第二电极层。该制备方法通过封装键合工艺实现边界环的制备，其制备工艺简单。
基本信息
专利标题 ：
谐振器及其制备方法、滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114421910A
申请号 ：
CN202210067464.9
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗天成蔡耀高超邹杨林炳辉龙开祥孙博文孙成亮
申请人 ：
武汉敏声新技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
崔熠
优先权 ：
CN202210067464.9
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 H03H9/02 H03H9/17
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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