本发明公开一种谐振器及其制备方法与应用，涉及射频通信、传感器、微流体等器件技术领域，谐振器包括衬底、压电层、电极层以及钝化层，其中，压电层设于所述衬底层的上侧，所述压电层包括自下向上依次叠设的应力吸收层、种子层以及薄膜层，所述薄膜层的材质包括氮化铝；电极层设于所述压电层的上侧，所述电极层包括叉指换能器和设于所述叉指换能器两侧的反射栅；钝化层设于所述电极层上侧。本发明提出的谐振器，应力吸收层可以改善器件的性能、产品良率与可靠性；种子层能够提高薄膜层的晶体质量；薄膜层采用氮化铝为压电材料，以使用大尺寸的硅晶圆，利于大规模生产，降低成本，进一步提高良率、减小制造成本，提升性能和集成度。