一种叉指型谐振器及其制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种叉指型谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，本发明的叉指型谐振器，包括依次层叠设置的衬底层、压电层和金属电极层，金属电极层上划分有叉指区域和分别连接在叉指区域两端的电连接区域，两个电连接区域沿叉指延伸方向分布，电连接区域的表面沿叉指延伸方向间隔设置至少两排阻挡体，阻挡体用于限制声波传输。本发明提供的叉指型谐振器，通过在器件的有效谐振区域周围设置声子晶体结构，有效减少了声波能量的横向泄露，提高了器件的品质因数。同时，声子晶体结构设置于电连接区域的上方，不会影响电连接区域的导电性和机械稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种叉指型谐振器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114567285A
申请号 ：
CN202210204325.6
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗天成温志伟谢英刘文娟孙博文孙成亮
申请人 ：
武汉敏声新技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
崔熠
优先权 ：
CN202210204325.6
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/13 H03H9/02 H03H3/02
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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