一种声学谐振器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及微电子器件技术领域，本发明提供一种声学谐振器及其制备方法。该声学谐振器由于在第一支撑层内设有弹性波陷阱结构；弹性波陷阱结构的弹性力学参数与支撑衬底的材料的弹性力学参数不相等，该弹性波陷阱结构可以阻碍谐振器工作模式向衬底的传播，将能量约束在衬底上方压电薄膜上表面处，从而减少了声波能量向衬底的泄漏，可以提高器件的品质因数，并拓宽了谐振器工作模式的选择范围，提高了工作频率和带宽。
基本信息
专利标题 ：
一种声学谐振器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114362709A
申请号 ：
CN202111467176.4
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
欧欣姚虎林张师斌郑鹏程吴进波
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
苗芬芬
优先权 ：
CN202111467176.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/17 H03H9/25 H03H3/02 H03H3/08
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20211203
申请日 : 20211203
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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